반응형 high k metal1 고유전 물질(High-k )-배경, 원리, 장점, 단점, 활용, 전망 배경High-k 물질은 반도체 산업에서 트랜지스터의 게이트 절연막으로 사용되는 고유전율(High dielectric constant, k)을 가진 재료를 의미합니다. 전통적으로 사용되던 실리콘 산화물(SiO2)이 기술 발전에 따라 더 이상 요구 조건을 충족시키지 못하면서, 더 높은 유전 상수를 가진 High-k 물질로의 전환이 이루어졌습니다. High-k 물질의 도입은 특히 45nm 이하의 공정에서 트랜지스터 성능 향상과 누설 전류 감소에 중요한 역할을 합니다.원리High-k 물질은 높은 유전 상수(k 값)를 가지고 있어, 같은 전기 용량을 유지하면서도 물리적 두께를 더 두껍게 할 수 있습니다. 이는 전자 이동을 저해하지 않으면서도 누설 전류를 줄일 수 있게 합니다. 전통적인 SiO2의 유전 상수가 약 .. 2024. 5. 31. 이전 1 다음 반응형